Б.Д.Луфт (под ред.) - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Название:
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Тип работы:
pdf
Скачать лицензионную версию
Купить печатную версию
Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Книга рассчитана на инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.