Практические аспекты плазмохимического травления

Тип: презентация
Категория: Физика и энергетика

Скачать

Купить

Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.

Другие файлы:

Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690
Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Ат...

Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела
Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного тип...

Растворение кристаллов. Теория и практика
Книга посвящена, с одной стороны, избирательному растворению (травлению) поверхностей монокристаллов, с другой — формам растворения, возникающим при р...

Способы металлографического травления
Во втором издании изложены методики для изумения и выявления структур различных металлов и сплавов способами металлографическоготравления. Рассмотре...

Травление и формовка анодной алюминиевой фольги
Характеристика процесса травления и описание получаемых при этом объектов. Основные свойства и неоднородность травления алюминиевой фольги. Математиче...