Технология микроэлектронных устройств. Справочник

Готра 3. Ю.

Тип: DJVU
Категория: НАУКА И УЧЕБА

Скачать

Купить

Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.

Другие файлы:

Основы схемотехники микроэлектронных устройств
В книге представлен анализ особенностей работы, методы проектирования и основы практического применения цифровых микросхем в составе современных микро...

Микроэлектронные СВЧ -устройства
Рассмотрены принципы расчета, конструирования и технология изготовления микроэлектронных устройств СВЧ; принципы работы фазированных и активных фазиро...

Микроэлектронные устройства связи и радиовещания
Освещены вопросы проектирования устройств связи и радиовещания на интегральных схемах. Дан анализ элементной базы современной отечественной микросхемо...

Конструирование и технология производства микроэлектронных цифровых измерительных приборов
Рассмотрены схемотехника, методы конструирования и технологи» производства микроэлектронных цифровых измерительных приборов, выполненных на основе инт...

Полевые транзисторы на арсениде галлия. Принципы работы и технология изготовлени
Книга ведущих специалистов из многих стран охватывает широкий круг вопросов, отражающих современное состояние проектирования и технологии изготовления...