Студенческий сайт КФУ - ex ТНУ » Учебный раздел » Учебные файлы »ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Данилин Б.С.
Тип: DjVu
Категория: ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
Скачать
Купить
Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Другие файлы:

Химия и физика низкотемпературной плазмы
В сборник включены статьи по четырем наиболее актуальным направлениям в области исследования низкотемпературной плазмы: методы получения и диагностики...

Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте
Монография посвящена исследованию низкотемпературной плазмы с помощью стабилизированных электрических дуг. Рассмотрены вопросы термодинамического равн...

Особенности получения тонкопленочного металлического конденсата из паровой фазы
Тонкопленочные слои; назначение тонких пленок, методы их нанесения. Устройство вакуумного оборудования для получения тонких пленок. Основные стадии ос...

Магнетронный метод получения тонких пленок на поверхности стекол
Разработка и изготовление устройства магнетронного получения тонких пленок. Пробное нанесение металлических пленок на стеклянные подложки. Методы, при...

Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления
Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумн...