Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Химия и физика низкотемпературной плазмы
В сборник включены статьи по четырем наиболее актуальным направлениям в области исследования низкотемпературной плазмы: методы получения и диагностики...
Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте
Монография посвящена исследованию низкотемпературной плазмы с помощью стабилизированных электрических дуг. Рассмотрены вопросы термодинамического равн...
Особенности получения тонкопленочного металлического конденсата из паровой фазы
Тонкопленочные слои; назначение тонких пленок, методы их нанесения. Устройство вакуумного оборудования для получения тонких пленок. Основные стадии ос...
Магнетронный метод получения тонких пленок на поверхности стекол
Разработка и изготовление устройства магнетронного получения тонких пленок. Пробное нанесение металлических пленок на стеклянные подложки. Методы, при...
Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления
Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумн...