Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов
Московский Государственный Открытый УниверситетФакультет информатики и радиоэлектроникиКафедра электронных приборов.Пояснительная запискапо дисциплине «Технология производства полупроводниковых приборов» на тему: «Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов»специальность 200300 /ССтудента: Иванова С.М. шифр № 696823 заочная форма обученияПреподаватель: Кротов В.В.2000Содержание.Введение.2Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин.7Защита поверхности p-n-переходов лаками и эмалями8Эпоскидные смолы.13Компаунды на основе эпоксидных смол.19Защита поверхности p-n-переходов вазелином и цеолитами.27Защита p-n-переходов плёнками окислов металлов.29Защита поверхности p-n-переходов плёнками нитрида кремния.32Защита p-n-переходов легкоплавкими стеклами37Защита поверхности p-n-переходов силанированием.42Защита поверхности р-п-переходов окислением.44Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией.50Состояние и свойства поверхности полупроводников.52Методы очистки поверхности полупроводника.54Химическая и электролитическая отмывка полупроводников.55Отмывка в кислотах и щелочах.59Отмывка во фреонах.60Отмывка водой.62Отмывка в ультразвуковых ваннах.64Определение чистоты поверхности.68Контроль качества промывки.73Сушка деталей.74Контроль герметичности полупроводниковых приборов.76Описание технологического процесса.78Список используемой литературы.82Введение.Технология производства полупроводниковых приборов – это техническая наука, занимающаяся изучением физико-химических основ технологических процессов производства электронных прибор и закономерностей, действующих в процессе изготовления этих изделий.Использование результатов исследований фундаментальных наук и доведение их до инженерного решения применительно к производству изделий электронной техники позволяют разрабатывать новые технологические процессы для серийного и массового изготовления.Развитие прикладных наук в области получения чистых и сверх чистых материалов, нанесения покрытий, соединения различных материалов, электрофизических и электрохимических методов обработки способствовали совершенствованию полупроводниковой и плёночной технологии, особенно при производстве микросхем.Повышение качеств изделий требует высокой технологической точности и дисциплины производства, своевременного анализа и корректировки технологического процесса, построения оптимального технологического процесса.Повышению качеств и стабильности технологических процессов, обеспечивающих массовое производство изделий с воспроизводимыми параметрами, способствует внедрение автоматизированных систем управления с полным исключением человека-оператора и его субъективного влияния на ход технологического процесса.Создание высокопроизводительных машин и автоматических линий требует знания основ технологии производства, современных методов изготовления деталей и узлов, нанесения покрытий, получение электронно-дырочных переходов, сборки приборов и микросхем и т.п. Производство изделий электроники состоит из нескольких этапов, в результате проведения которых материалы превращаются в готовые изделия.Производственный процесс в электронном приборостроении состоит из: технологической подготовки производства; получения и хранения материалов и полуфабрикатов; технологического процесса изготовления деталей, сборки изделий; испытания готовых изделий; упаковки и хранения готовых изделий.Технологический процесс является той частью производственного процесса, во время которого непосредственно происходит последовательное качественное изменение состояние продукта производства.Проектирование технологического процесса ставит своей целью получение высококачественных изделий электронной техники, отвечающих техническим условиям и чертежам при высокой производительности и экономичности.
